磁性流體密封技術

磁性流體密封技術基於磁性流體研發，該流體注入帶磁場的間隙後可充盈全域，形成液態O型密封結構。磁性流體真空傳動裝置為真空容器 旋轉運動傳遞專用裝置，由永磁磁場、磁極、磁性多極傳動軸及磁性流體構成，其各級環形間隙均填充磁性流體；理想工況下，磁性流體在極 間與磁極間形成多級磁性流體密封結構，單級可承壓0.15~0.2atm，裝置總承壓為各級疊加值 ，為適配真空環境 ，其標準設計承壓超2atm，具備高安全冗餘。

磁性流體應用

内容目前，磁性流體進給裝置已在各類精密進給控制設備中得到廣泛應用，涵蓋矽晶體生長、電子靶位指示、溅射、等離子刻蝕、化學氣 相沉積、離子註入、液晶再生等關鍵工藝。其密封技術可有效實現機器人與外部有害介質的隔離防護，顯著降低非計劃停機時長，為高端製造領域的規模化連續生產提供關鍵保障，應用價值突出。

磁性流體特性

密封性能：磁性流體周向全包覆轉軸，形成氣、液、氣溶膠全阻隔密封，洩漏率≤1×10⁻¹¹Torr・L/sec，達質譜儀檢測下限，實現近零洩漏。

使用壽命：以高穩磁性流體為核心的液態O型密封結構，裝置無故障免維護運行周期≥10年。

運行可靠性：永磁磁路與磁性流體耦合設計，密封副無機械接觸，僅軸承存在正常磨損。

潔淨性：無接觸無磨損，無微粒產生，從源頭降低系統顆粒污染；適配低氣壓，維護便捷，真空度可控至10-8Torr級。

力矩傳輸：實現100%無損力矩傳遞，保障傳動軸單向運動無附加阻力、無卡滯。

動態性能 ：磁性流體低粘滯阻力，搭配進給裝置與密封副非接觸設計，裝置低阻尼、高轉速穩定運行。